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晶圓硅片超聲波清洗機合作案例
設備名稱：五槽全自動超聲波清洗機
清洗工件：晶圓
清洗工藝：上料→超聲波清洗→超聲波清洗→超聲波漂洗→超聲波漂洗→熱風烘干→下料
本設備(半導體全自動晶圓超聲波清洗機)主要由PLC控制系統、超聲波清洗系統、熱風烘干系統、單臂機械手系統、上下料臺等構成。

合作企業是一家從事碳化硅單晶材料研發、生產和銷售的企業，主營產品有N型碳化硅襯底、半絕緣型碳化硅襯底、碳化硅晶體。作為首次合作的客戶，南砂晶圓在眾多超聲波清洗機廠家中選擇潔盟，這無疑是對潔盟實力和產品質量及服務能力最好的證明。我們真誠地期望通過此次的合作，進一步增加彼此的了解和友誼，后續在更廣的領域開展合作，實現共同發展。
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